LG디스플레이, 세계 최초 초음파 플로팅 코터 장비 개발
LG디스플레이, 세계 최초 초음파 플로팅 코터 장비 개발
  • By 연철웅 기자(info@koreaittimes.com)
  • 승인 2015.09.08 13:06
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LG디스플레이가 세계 최초로 초음파를 적용한 디스플레이 장비 개발에 성공, 대면적 디스플레이 생산 경쟁력을 높였다.

LG디스플레이는 디스플레이 제조를 위한 TFT, Color Filter 공정에서 마스크에 패턴을 형성하는 사진식각(Photolithography)[1]과정을 위해 초음파를 적용, 기판을 부상 반송하며 코팅하는 장비인 ‘초음파 플로팅 코터(Ultrasonic Floating Coater)’를 개발하는 데 성공했다.

이번에 개발된 ‘초음파 플로팅 코터’는 일정한 진폭과 주파수를 가진 진동 에너지로 미세한 간격을 유지하며 부상 반송하는 원리로 작동된다. 단순한 장비 구조로 유지/보수가 용이한 것은 물론 박형 기판을 보다 안전하게 부상할 수 있다는 장점이 있다.

특히 그 동안 전량 수입에 의존해 왔던 에어 플로팅 코터(Air Floating Coater)를 대신해 ‘초음파 플로팅 코터’를 8세대 제조 공정에 도입할 경우, 37%의 비용 절감 및 77%의 에너지 절감 효과를 거둘 것으로 기대된다.

LG디스플레이는 지난 2013년 신기술장비공모제도를 통해 협력사인 케이씨텍의 개발 제안을 접수하고, 양사 공동으로 약 1년 6개월의 연구 개발 및 이후 6개월의 공정 및 성능 평가 등을 거치며 양산성을 확보하였다. 하반기에는 ‘초음파 플로팅 코터’를 도입하여 LCD 생산 경쟁력을 증진할 예정이다.

LG디스플레이 생산최고책임자(CPO) 정철동 부사장은 “LG디스플레이는 국내 협력사들과 LCD의 장비 및 부품 국산화를 위한 공동기술 개발에 노력해 왔으며, 이번에도 세계 최초로 ‘초음파 플로팅 코터’ 장비를 개발하는 성과를 이뤄냈다”며 “앞으로 협력사와의 상생을 통해 디스플레이 업계 경쟁력 확보에 더욱 노력하겠다”고 밝혔다.


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