LG이노텍이 실리콘 카바이드 에피택시 와이퍼(Epitaxial wafers) 개발을 위해 독일의 ‘AIX G5 WW(Warm-Wall)’ 장비를 선택했다.
22일 독일 현지언론과 LG이노텍에 따르면 독일의 세계적인 반도체 장비업체 엑시트론(Aixtron)은 LG이노텍에 자동차나 신재생에너지 응용 전력장치에 주로 사용되는 에피택시 와이퍼 개발 장비인 ‘AIX G5 WW’을 공급했다. 엑시트론은 8x6 인치 기질용 장비를 지난해 4분기에 LG이노텍에 인도했다.
‘CS 컴파운드 세미컨덕터’는 최근호에서 “AIX G5 WW VPE(vapor phase epitaxy) 시스템은 엑시트론의 최대 배치(batch) 역량과 최고 처리량을 자랑하는 Planetary Reactor 플랫폼에 기반을 두고 있다”며 “장비 디자인은 탁월한 생산 품질을 유지하면서 생산비용 최소화를 목표로 한다”고 보도했다.
강민석 LG이노텍 선행부품연구소장(전무)은 매체에 “탄화규소기반 시스템에 대한 주요자동차 업체들의 수요가 증가하고 있다”며 “엑시트론 에피택시 시스템의 오랜 사용 경험을 바탕으로 우리는 엑시트론의 G5 WW 장비가 최고 처리량 및 6인치 와이퍼 산출량이라는 남다른 이점을 제공할 것이라고 믿는다”고 말했다.
그는 “엑시트론의 탄화규소 응용실험실을 통해 탄화규소 에피택시 와이퍼 샘플을 사전에 심사할 수 있다”고 덧붙였다. 강 소장은 산업부의 세계일류소재개발(WPM)사업을 이끌고 있다.
프랭크 비쉬마이어 (Frank Wischmeyer) 엑시트론 부회장은 “AIX G5 WW는 탄화규소기반 전자 장치의 대량 생산을 위한 산업요건에 완벽하게 맞아 떨어진다”며 “신속한 설치와 시스템의 탄화규소 처리 검증을 위해 전폭적으로 지원 할 것”이라고 말했다.
